EUV光源，即13.5纳米波长的极深紫外光，是实现“超精密电路雕刻”的核心，直接决定了芯片的最小线宽、集成度与性能上限。

    只需一次曝光，就能把掩膜版上的电路图，复制到晶圆表层。

    而传统的DUV光刻机，需通过“多重曝光”，才能形成芯片所需的精细线路。

    具体来说，就是要对同一区域的光刻胶进行2到4次光刻与显影操作，最终效果才相当于  EUV光刻机一次曝光所能达到的水平。

    梁劲松从格罗方德、联华电子手里购买的NXT  1950i  DUV光刻机，虽然也能生产14纳米、乃至10纳米的芯片，但必须利用多重曝光工艺。

    然而，多次曝光会导致光刻步骤增加，生产周期变长、良品率骤减、成本迅速上升，至少要高个30%到50%。

    这也是为何阿斯麦只要不向华国的Fab工厂出售EUV光刻机，便能牢牢卡住整个半导体行业脖子的主要原因。

    即便掌握了其他关键技术，也会因制造成本居高不下，从而失去商业价值与市场竞争力。

    就拿同一款芯片产品来说，高通以20美币的价格出售仍有毛利可赚，但国内芯片制造商若同样以20美币的价格售卖，反而要亏损三成。

    面对这样的成本与盈利差距，采购方自然不愿买单。

    陈延森提出的磁约束放电激发方式，则放弃了激光轰击液态金属锡、激发极深紫外光的方案，转而采用在强磁场约束下，通过高功率脉冲放电，在金属锡靶表面产生稳定、高亮度等离子体的技术路径。

    优点显而易见，固态靶材加高压放电，机械结构更简单，稳定性更高。

    这是一项差异化极大的技术，可以绕过大量现有的LPP专利壁垒墙。

    “辛苦了，继续在磁约束放电激发技术的基础上，深耕延伸专利，以防欧美的半导体公司使用微创新的手段，反过来限制我们。”

    陈延森在听完林南的汇报后，当即叮嘱道。

    高通为什么栽了？

    还不是他在射频、通信解码等技术上，设置了全新的专利壁垒，把高通的出口给堵住了。

    要不然，保罗·雅各布能心甘情愿地与天工科技签订专利交叉授权协议？

    想都别想！

    自己走过的路，当然要堵死！

    他可不想有朝一日，突然冒出来一家公司，起诉星源科技侵权。

    “好的老板，我知道构建专利生态壁垒的重要性。”林南立即应道。

    他是沪城光学精密机械研究所的高级工程师，在行业内小有名气。

    之前，星源科技和华科协会下属光电所联手推进攻关计划时，胡锐晖就向陈延森推荐了林南。

    陈延森要钱给钱，要器材给器材，完全是一副财大气粗的样子。

    林南在研究所蹉跎了十几年，眼看民营公司的研究员都拿到了诺贝尔化学奖，他哪里还坐得住？

    在收到陈延森的邀请后，二话不说，就加入了星源科技的光学研究实验室，与光电所的院士们并肩作战，试图另辟蹊径，寻找一种可商用的EUV光源激发方式。

    起初毫无进展，直到陈延森指了一条天马行空的路线。

    用“电磁场”代替“激光”作为激发和约束等离子体的手段，在放电区域周围设置一组超导磁体线圈，产生一个特殊的磁镜场构型。

    先用脉冲电流激发等离子体，再用多层反射镜来收集13.5纳米的波长，最后聚焦和输出。

    林南原本不以为然，但在研究一段时间后，他发现老板的方案并非是空想，而是具备极强的可实现性。

    事实证明，这条路是对的！

    “行，先这样。”

    陈延森极为平淡地挂了电话。

    在他看来，光刻技术是个无比庞大的环节，除去光源部分，物镜系统、双工作台、光刻胶等模块也是重中之重。

    搞定EUV光源的激发方式，不过是千里之行，才走一步而已。

    另一边。

    林南暗自咋舌，表情有些失控，他其实很想再打回去告诉老板：“凭借这项技术，明年拿个国家最高科学技术奖，也不是没有可能啊！”

    可他转念一想，深蓝科技还有三个诺贝尔化学奖的获得者，老板的反应平淡也很正常。

    由于‘磁约束放电等离子体光源’是星源科技和华科协会的共同研究成果，消息在国内的科学界飞速传开。

    胡锐晖在得知后，猛地站起身，根本不敢相信。

    “这才四个月不到，就特么有成果了？开什么玩笑？”

    胡锐晖在办公室里走来走去，竟破天荒地爆了粗口。

    同一时间，哈工大光学实验室和龙州光机所也收到了消息。

    第一反应，假的！

    可他们在反复验证后，又不得不相信，星源科技和燕京光电所，还真把EUV光源技术给搞了出来。

    并且，还成功绕过了阿斯麦、卡尔蔡司、山星、湾积电和Cymer构筑的专利防御墙。

    两个小时后，李青松接到胡锐晖的电话。

    “先封锁消息，让安国协会的工作人员立刻赶到沪城，所有参与了研发过程的人员，一律签署保密条例。”

    李青松在明白这项技术的重要性后，脸色瞬间变得凝重起来，冲着一旁的秘书吩咐道。

    他在星源科技身上，看到了国产光刻机崛起的希望！

    “好的，李先生。”秘书不敢耽搁，抓起电话就开始联系安国协会，将需要签署保密条例的人员名单、对接流程一一梳理清楚。

    李青松则站在办公室的玻璃窗前，望着燕京灰蒙蒙的天空，不由地陷入了沉思。

    星源科技在EUV光源领域的技术突破，像一道惊雷，劈开了自研光刻机路上的迷雾，可随之而来的，还有无数即将袭来的暗流。

    一旦消息泄露，阿斯麦、卡尔蔡司那些国际巨头绝不会坐视不理，要么通过专利诉讼拖延进度，要么联合供应链施压，甚至可能动用盘外力量干预。

    毕竟，半导体行业从来都不只是单纯的技术竞争，背后牵扯着太多的利益博弈。

    星源科技的发展让人出乎意料！

    与此同时。

    沪城星源科技的光学研究实验室里，林南正带领团队进行第三次稳定性测试。

    屏幕上跳动的数据流显示，13.5纳米波长的极深紫外光输出强度稳定在92%以上，能量转换效率为7.1%，远超阿斯麦所掌握的LPP光源。

    这个数据，已经达到了商用标准！

    但接下来，还有很多巨大的挑战和不确定性。

    比如，脉冲放电和等离子体本身会产生巨大热量，旋转靶和液膜都需要极强的冷却能力，目前的热管理技术就不匹配。

    开辟一条新路，虽然可以独享，但配套设备和技术都得自己慢慢摸索。

    道阻且长！

    ……

    ……

    傍晚时分，陈延森在下班后，并没有回三角洲别墅区，而是赶到机场，乘坐湾流  550飞往庐州。

    明天下午两点，天工科技将在庐州会议中心召开新品发布会，正式把天工  B100和天工  C100推向市场。

    他自然不能缺席。

    半个小时后，飞机降落在庐州新桥机场。

    接着换乘一辆迈巴赫，朝着包河区的一间别墅驶去。

    又过了三十分钟，老黄才把车子缓缓停下。

    只见一栋三层高的别墅矗立在眼前，占地面积200多平方米，地下一层，地上三层，建筑面积超过了800平方米。

    自带200多平方米的花园，与虚城的别墅有所不同，这间房子除了观景水池外，还有一个露台泳池。

    两年前买的，陈总一次都没住过。

    “老黄，明天下午一点来接我。”

    陈延森下了车，随口说了一句。

    “好的老板。”

    黄伯翔点头应道，他的话越来越少，越来越像一名专业的司机。

    不等陈延森开口，便自觉地把行李箱搬下来，帮老板推到客厅门口。

    做完这些，转身就走。

    陈延森没带钥匙，于是抬手敲了敲门。

    屋外的叶秋萍早就听到了动静，之所以没来开门，则是在忙着换衣服。

    “咯吱”一声！

    包着铜皮的红木大门应声打开。

    “老板，喜欢吗？”

    叶师傅穿着一袭青纱长裙，昂着头，嘴巴微张，咬着一缕发丝，一脸娇媚地问道。

    一条尾巴藏在身后，甩来甩去。

    “啪”！

    陈延森一巴掌甩了过去，在叶师傅的屁股上狠狠打了一下，随即走进客厅，懒洋洋地丢下一句话道：“把我行李箱拿进来，再简简单单做个四菜一汤。”

    “噢。”叶秋萍捂着屁股，乖乖应了一声。

    虽说挨了打，可心里却是甜丝丝的，恨不得陈延森再多打两巴掌。

    因为萌洁、宋允澄和自己都在庐州，可陈延森偏偏选择来她这里，说明老板对她，偶尔也会多几分不一样的偏疼。

    叶秋萍揉着被拍过的地方，嘴角的笑意藏都藏不住。

    她快步走到门口，弯腰提起陈延森的行李箱。

    陈延森坐在沙发上，分别给萌洁和宋允澄回了一条信息。

    叶秋萍把行李箱放好，又赶忙拿起一双男士拖鞋，噔噔噔地走到陈延森面前，帮他脱鞋、换鞋。

    陈延森见她的尾巴摇来摇去，忍不住地伸手去抓。

    叶师傅耳尖一红，身体一软，趴在陈总的膝盖上，温声细语地说：“老板，你抓着人家的尾巴，我可就没力气给你做饭了。”

    “那就先吃海鲜，再吃晚饭。”

    陈延森扯了扯尾巴，叶秋萍的脸蛋就更加红润了，面若粉桃，双眸泛起了莹莹水光。

    ……

    ……

    次日，雷逸军一早便赶到了机场，直奔庐州而去。

    周弘毅、丁磊、贾耀亭和吴鸿欣同样如此。

    华为、中兴、酷派和联想等手机厂商，也纷纷派了代表前来。

    天工  A100的市场表现有目共睹，想来天工  B100和天工  C100的性能也不会太差。

    高通为什么突然出手打压天工科技？

    还不是因为陈延森动了一些人的蛋糕。

    自从星源科技成立后，就暴露了森联资本在半导体行业的野心，既想掌控芯片设计环节，又想掌握芯片制造环节。

    不少人觉得，陈延森太贪心，上到芯片，下到餐厅，什么钱都想赚，迟早翻车。

    但在雷逸军等人的眼里，陈延森确实有这个实力。

    哪怕是面对高通的打压，陈延森也表现得游刃有余，提前用二手光刻机订单锁定了格罗方德和联华电子28纳米制程的芯片产能，同时又用橙子科技的采购业务，一举拉拢了联发科和英伟达。

    高通？

    瞬间成了小丑！

    (本章完)


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